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각종재료의 표면이나 단면관찰,계면,결함등의 국소구조를 전자현미경으로 관찰하고 그 위에 각종분석법을 조합하여 종합적으로
평가한다.
 
 
    반도체 재료
    액정디스플레이 관련 재료
    세라믹스
    금속
    촉매
    탄소섬유·복합재료
    촉매
 
    표면구조의 평가
    
  형태관찰(SEM,평면TEM)
      원소조성분석(SEM-EDX)
    내부구조 평가
    
- 형태관찰(TEM)
     - 특정부위평가, 정도분석 평가
       ·결정구조해석(ED, Nano-ED)
     - 미소부의 결정성, 배향성,구조평가
       ·원소조성분석(EDX,EELS)
     - 국소조성평가, 조성분포, 線, 面분석
       ·전자구조해석(EELS)
     -국소전자 구조평가
 
    Various Optical Microscopes (OM)
    Scanning Electron Microscope (SEM, SEM-EDX)
    Transmission Electron Microscope (TEM)
    Field Emission source, scanning Transmission Electron Microscope (FE-STEM)
    Focused lon Beam (FIB)
    Analytical Electron Microscope (AEM)
    Energy Dispersive X-Ray Detector (EDX)
    Electron Energy Loss Spectrometer (EELS)